超净微纳加工实验室用户须知

 

1)所有进入实验室的用户必须先注册,注册办法如下:

请先下载用户注册表填好,本人和导师签字(用户为教师,自己出经费,则导师为自己),然后到天井211交黄老师处进行注册,注册后在天井212室李老师处申请安全培训。                  

 

2)所有用户必需安全培训,培训流程如下:

在天井212室李老师处申请安全培训,或在注册完成后等待电话通知安全培训时间地点,按时参加培训结束后获得《安全培训》课程证明,签署遵守安全规定和条例的承诺书。安全培训结束。培训老师通知潘老师发放进入超净室的门禁卡。培训老师:李老师,电话62757139-24                          

 

3)设备使用:分独立使用和代做。                  

代做:由具备独立操作资格用户代做,本人不进入(如本人未经超净室安全培训)。如由超净室老师或设备管理学生代做,费用加倍。                

独立使用必须先获得独立操作资格,具体要求请咨询相应设备管理员/老师。             

使用设备必须先在相应网站/微信群预约。          

注:第一次申请代作、或培训需确定导师在本超净室帐户是否预存有经费,属于导师第一次开通、预存经费已使用完毕、虽有经费,但即将使用需多次运行的大型设备,需先向本超净室通过内部支票预交费用。支票金额从300010000元,可根据即将使用设备的收费标准确定(预付款咨询电话:62752081,孙老师)

用户禁止使用未经培训设备,使用已培训但考核尚未通过的设备需在具备独立操作资格用户的陪同下进行。

 

4)设备培训流程:

向设备管理员/老师(见附件)发邮件申请相应设备培训,同时将申请邮件抄送给出钱导师。

出钱导师向设备管理员/老师发邮件同意培训申请后,设备管理员/老师联系用户确定培训时间。

培训合格后,用户获得该设备独立使用资格,设备管理员/老师开通相应设备预约权限。                              

为保证设备培训的质量,确保设备安全,同一用户同一时期只允许申请二台大型设备(以下代*号标识的设备)培训。

 

 

附:设备管理员/老师及联系方式

*单双面紫外光刻:李腾飞老师,62757197-24litengfei@pku.edu.cn

*单面深紫外光刻机:李腾飞老师,62757197-24litengfei@pku.edu.cn

*进口单面紫外光刻机MJB4:李腾飞老师,62757197-24litengfei@pku.edu.cn

*电子束曝光机raith 150:岳双林老师联系,62752081shlyue@pku.edu.cn

*离子束刻蚀raith ilion:潘华勇老师,62755310hypan@pku.edu.cn

*ICP等离子刻蚀系统:潘华勇老师,62755310hypan@pku.edu.cn

*电阻加热蒸发镀膜仪:吴殿仲老师,62757139-24wudianzhong2004@126.com

*原子层沉积仪ALD:董立军老师,62755310donglijun@pku.edu.cn

*DE电子束镀膜仪():董立军老师,62755310donglijun@pku.edu.cn

*Kurt电子束镀膜仪():潘华勇老师,62755310hypan@pku.edu.cn

*磁控溅射PVD75:黄珏华老师,62757238jay@pku.edu.cn

臭氧清洗机:黄珏华老师,62757238jay@pku.edu.cn

Ion Wave 10等离子去胶机:黄珏华老师,62757238jay@pku.edu.cn

*高真空高温退火炉:吴殿仲老师,62757139-24wudianzhong2004@126.com

*台阶仪XP1:黄珏华老师,62757238jay@pku.edu.cn

*椭偏谱仪岳双林老师联系62752081shlyue@pku.edu.cn

常温探针台:暂不对外培训

*高温探针台:邱晨光老师或张志勇老师联系,18810358092qcgiqstar@gmail.com

*低温探针台:管昌荣同学,15120076023chrguan@126.com

*原子力显微镜 AFM/Multi高崧老师 13366062018gao_song2000@pku.edu.cn

*紫外-红外显微共焦光学测量系统/显微拉曼:暂不对外培训

Keithley 4200半导体测试系统:本设备与高温探针台一起收费,不单独收费,也不单独培训。

直流测试系统:廖建辉老师联系,62755807jianhui.liao@pku.edu.cn